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1Academic Journal
المؤلفون: Pinault-Thaury, M. A., Jomard, F., Mer-Calfati, Christine, Tranchant, Nicolas, Pomorski, Michal, Bergonzo, Philippe, Arnault, Jean-Charles
المساهمون: Groupe d'Etude de la Matière Condensée (GEMAC), Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines (UVSQ)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) (LCD (CEA, LIST)), Département Métrologie Instrumentation & Information (CEA, LIST) (DM2I (CEA, LIST)), Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST (CEA)), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay, ANR-08-BLAN-0195,DeltaDiam,Manufacture and study of ultra-thin films of highly boron-doped single crystal diamond(2008)
المصدر: ISSN: 0169-4332.
مصطلحات موضوعية: boron doped diamond, Boron-doped delta-layer, Ion mixing, Depth profiling, Backside, Both sides SIMS analysis, Diamond, ELECTRONIC APPLICATIONS, DEPTH PROFILES, INTERFACES, LOW-ENERGY, very thin diamond layer, thin layer, SIMS analysis, photonics, spintronics, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, [PHYS.PHYS.PHYS-ATM-PH]Physics [physics]/Physics [physics]/Atomic and Molecular Clusters [physics.atm-clus], [PHYS.PHYS.PHYS-ATOM-PH]Physics [physics]/Physics [physics]/Atomic Physics [physics.atom-ph], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
الاتاحة: https://cea.hal.science/cea-01803833
https://cea.hal.science/cea-01803833v1/document
https://cea.hal.science/cea-01803833v1/file/DIAM16_Front%20and%20back%20side%20SIMS%20analysis%20of%20boron%20doped%20delta%20layer%20in%20diamond_submitted%20manuscript.pdf
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.03.118 -
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المؤلفون: Marie-Amandine Pinault-Thaury, François Jomard, Nicolas Tranchant, Michal Pomorski, Jean-Charles Arnault, Philippe Bergonzo, Christine Mer-Calfati
المساهمون: Groupe d'Etude de la Matière Condensée (GEMAC), Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines (UVSQ)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire Capteurs Diamant (LCD-LIST), Département Métrologie Instrumentation & Information (DM2I), Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay, ANR-08-BLAN-0195,DeltaDiam,Manufacture and study of ultra-thin films of highly boron-doped single crystal diamond(2008), Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST (CEA))
المصدر: Applied Surface Science
Applied Surface Science, Elsevier, 2017, 410, pp.464-469. ⟨10.1016/j.apsusc.2017.03.118⟩
Applied Surface Science, 2017, 410, pp.464-469. ⟨10.1016/j.apsusc.2017.03.118⟩مصطلحات موضوعية: thin layer, photonics, General Physics and Astronomy, Both sides SIMS analysis, 02 engineering and technology, 01 natural sciences, Condensed Matter::Superconductivity, ELECTRONIC APPLICATIONS, 010302 applied physics, spintronics, [PHYS.PHYS.PHYS-ATOM-PH]Physics [physics]/Physics [physics]/Atomic Physics [physics.atom-ph], Ion mixing, [PHYS.PHYS.PHYS-ATM-PH]Physics [physics]/Physics [physics]/Atomic and Molecular Clusters [physics.atm-clus], DEPTH PROFILES, Surfaces and Interfaces, 021001 nanoscience & nanotechnology, Condensed Matter Physics, SIMS analysis, Surfaces, Coatings and Films, Characterization (materials science), Secondary ion mass spectrometry, boron doped diamond, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], Optoelectronics, 0210 nano-technology, INTERFACES, Materials science, Silicon, Superlattice, chemistry.chemical_element, Nanotechnology, engineering.material, Condensed Matter::Materials Science, very thin diamond layer, 0103 physical sciences, LOW-ENERGY, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Boron, Quantum well, Dopant, Backside, business.industry, Diamond, Boron-doped delta-layer, General Chemistry, chemistry, Depth profiling, engineering, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, business