المؤلفون: Ducoté, J., Bernard-Granger, F., Le-Gratiet, B., Bouyssou, R., Bianchini, R., Marin, J. C., Baron, M. P., Gardet, F., Devoivre, T., Batail, E., Pouly, C., Gueze, D., Thevenon, L.

المساهمون: Starikov, Alexander, Cain, Jason P.

المصدر: SPIE Proceedings ; Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVII ; ISSN 0277-786X

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2010909

المؤلفون: Yesilada, E., Entradas, J., Gardin, C., Pena, J. N., Villaret, A., Farys, V., Beylier, C., Robert, F., Postnikov, S., Armeanu, A. M., Moyroud, C., Chaoui, F., Bernard Granger, F., Toublan, O.

المساهمون: Conley, Will

المصدر: SPIE Proceedings ; Optical Microlithography XXV ; ISSN 0277-786X

الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.915825

المؤلفون: Jabeur, K., Bernard-Granger, F., Di Pendina, G., Prenat, G., Dieny, B.

المساهمون: SPINtronique et TEchnologie des Composants (SPINTEC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

المصدر: ISSN: 0013-5194.

مصطلحات موضوعية: [INFO.INFO-MO]Computer Science [cs]/Modeling and Simulation

الاتاحة: https://hal.science/hal-02131742
https://doi.org/10.1049/el.2014.1083

المؤلفون: Starikov, Alexander, Cain, Jason P., Ducoté, J., Bernard-Granger, F., Le-Gratiet, B., Bouyssou, R., Bianchini, R., Marin, J. C., Baron, M. P., Gardet, F., Devoivre, T., Batail, E., Pouly, C., Gueze, D., Thevenon, L.

المصدر: Proceedings of SPIE; April 2013, Vol. 8681 Issue: 1 p868136-868136-10