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1Conference
المؤلفون: Navarro, G., Bourgeois, G., Kluge, J., Serra, A. L., Verdy, A., Garrione, J., Cyrille, M. C., Bernier, N., Jannaud, A., Sabbione, C., Bernard, M., Nolot, E., Fillot, F., Noé, P., Fellouh, L., Rodriguez, G., Beugin, V., Cueto, O., Castellani, N., Coignus, J., Delaye, V., Socquet-Clerc, C., Magis, T., Boixaderas, C., Barnola, S., Nowak, E.
المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: 2018 IEEE International Memory Workshop (IMW)
https://cea.hal.science/cea-02185419
2018 IEEE International Memory Workshop (IMW), May 2018, Kyoto, Japanمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics], [SPI]Engineering Sciences [physics]
Time: Kyoto, Japan
Relation: cea-02185419; https://cea.hal.science/cea-02185419; https://cea.hal.science/cea-02185419/document; https://cea.hal.science/cea-02185419/file/Nav.pdf
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2Academic Journal
المؤلفون: Posseme, Nicolas, Garcia-Barros, Maxime, Leverd, François, Benoit, Daniel, Pollet, Olivier, Audoit, Guillaume, Guedj, Cyril, Jannaud, Audrey, Barnola, S.
المساهمون: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), STMicroelectronics Crolles (ST-CROLLES), Département Plate-Forme Technologique (DPFT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), SERMA Technologies
المصدر: ISSN: 0734-211X.
مصطلحات موضوعية: [SPI]Engineering Sciences [physics]
Relation: cea-02185184; https://cea.hal.science/cea-02185184; https://cea.hal.science/cea-02185184/document; https://cea.hal.science/cea-02185184/file/posseme2018.pdf
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3Conference
المؤلفون: Dupuy, E., Pargon, E., Fouchier, M., Grampeix, H., Pradelles, J., Darnon, M., Pimenta-Barros, P., Barnola, S., Joubert, O., R.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), SPIE, Qinghuang Lin, Sebastian U. Engelmann, Ying Zhang
المصدر: SPIE Proceedings ; SPIE Advanced Lithography ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01869175 ; SPIE Advanced Lithography, SPIE, 2015, San Jose, CA, United States. pp.94280B, ⟨10.1117/12.2085812⟩
مصطلحات موضوعية: SADP, LER, LWR, PSD, CD-SEM, spectral analysis, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
جغرافية الموضوع: San Jose, CA, United States
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4Conference
المؤلفون: Gaben, L., Balan, V., Euvrard, C., Pauliac, S., Dallery, J.-A., Bustos, J., Dechanoz, R., Hemard, B., Koscianski, L., Bossy, X., Arvet, C., Vizioz, C., Barnola, S., Perrot, C., Sturm, J., Exbrayat, Y., Loup, V., Besson, P., Perrin, B., Previtali, B., Samson, P., Barraud, S., Monfray, S., Boeuf, F., Skotnicki, T., Balestra, F., Vinet, M.
المساهمون: STMicroelectronics Crolles (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC ), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB Université de Savoie Université de Chambéry )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), Vistec Electron Beam GmbH
المصدر: 2017 EUROSOI-ULIS Proceedings
2017 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS)
https://hal.science/hal-02014232
2017 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS), Apr 2017, Athens, Greece. pp.120-123, ⟨10.1109/ULIS.2017.7962617⟩مصطلحات موضوعية: stacked nanowire FETs, HSQ, FinFET, SNWFET, 3D lithography, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Relation: hal-02014232; https://hal.science/hal-02014232
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5Conference
المؤلفون: Batude, P., Brunet, L., Fenouillet-Beranger, C., Andrieu, F., Colinge, J.-P., Lattard, D., Vianello, E., Thuries, S., Billoint, O., Vivet, P., Santos, C., Mathieu, B., Sklenard, B., Lu, C.-M. V., Micout, J., Deprat, F., Mercado, E. Avelar, Ponthenier, F., Rambal, N., Samson, M.-P., Casse, M., Hentz, S., Arcamone, J., Sicard, G., Hutin, L., Pasini, L., Ayres, A., Rozeau, O., Berthelon, R., Nemouchi, F., Rodriguez, P., Pin, J.-B., Larmagnac, D., Duboust, A., Ripoche, V., Barraud, S., Allouti, N., Barnola, S., Vizioz, C., Hartmann, J.-M., Kerdiles, S., Alba, P. Acosta, Beaurepaire, S., Beugin, V., Fournel, F., Besson, P., Loup, V., Gassilloud, R., Martin, F., Garros, X.
المصدر: 2017 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) ; page 3.1.1-3.1.4
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6Conference
المؤلفون: Pargon, E., Bizouerne, M., Gay, G., Petit-Etienne, C., Burtin, P., Brihoum, M., Barnola, S.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )
المصدر: SPIE advanced lithography, Advanced Etch Technology for Nanopatterning V, Conference 9782 ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882458 ; SPIE advanced lithography, Advanced Etch Technology for Nanopatterning V, Conference 9782, Feb 2016, San Jose, United States
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
جغرافية الموضوع: San Jose, United States
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7Conference
المؤلفون: Lin, Qinghuang, Engelmann, Sebastian, Pargon, E., Gay, G., Petit-Etienne, C., Brihoum, M., Bizouerne, M., Burtin, P., Barnola, S.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ), ANR-10-LABX-0055,MINOS Lab,Minatec Novel Devices Scaling Laboratory(2010)
المصدر: SPIE Advanced Lithography ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882440 ; SPIE Advanced Lithography, 2016, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.2221903⟩
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
جغرافية الموضوع: San Jose, United States
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8Conference
المؤلفون: Gay, G., Pargon, E., Petit-Etienne, C., Brihoum, M., Barnola, S.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )
المصدر: Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 9th International Workshop ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882455 ; Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 9th International Workshop, May 2016, Grenoble, France
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
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9Conference
المؤلفون: Gay, G., Pargon, E., Petit-Etienne, C., Brihoum, M., Barnola, S., Labau, S., Arnaud, S.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )
المصدر: 65th International AVS Symposium & Topical Conferences
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882766
65th International AVS Symposium & Topical Conferences, Nov 2016, Nashville, USA, United Statesمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
جغرافية الموضوع: Nashville, USA, United States
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10Conference
المؤلفون: Sarrazin, A., Posseme, N., Pimenta Barros, P., Barnola, S., Claveau, G., Gharbi, A., Argoud, M., Chamiot-Maitral, G., Tiron, R., Nicolet, C., Navarro, C., Cardinaud, C.
المساهمون: Lin, Qinghuang, Engelmann, Sebastian U.
المصدر: SPIE Proceedings ; Advanced Etch Technology for Nanopatterning V ; ISSN 0277-786X
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2220586
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11Conference
المؤلفون: Brunet, L., Batude, P., Fenouillet-Beranger, C., Besombes, P., Hortemel, L., Ponthenier, F., Previtali, B., Tabone, C., Royer, A., Agraffeil, C., Euvrard-Colnat, C., Seignard, A., Morales, C., Fournel, F., Benaissa, L., Signamarcheix, T., Besson, P., Jourdan, M., Kachtouli, R., Benevent, V., Hartmann, J.-M., Comboroure, C., Allouti, N., Posseme, N., Vizioz, C., Arvet, C., Barnola, S., Kerdiles, S., Baud, L., Pasini, L., Lu, C.-M. V., Deprat, F., Toffoli, A., Romano, G., Guedj, C., Delaye, V., Boeuf, F., Faynot, O., Vinet, M.
المصدر: 2016 IEEE Symposium on VLSI Technology ; page 1-2
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12Conference
المؤلفون: Pollet, O., Barnola, S., Posseme, N., Pimenta-Barros, P.
المصدر: 2015 China Semiconductor Technology International Conference ; volume 51605, page 1-4
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13Conference
المؤلفون: Tiron, R., Gharbi, A., Pimenta Barros, P., Bouanani, S., Lapeyre, C., Bos, S., Fouquet, A., Hazart, J., Chevalier, X., Argoud, M., Chamiot-Maitral, G., Barnola, S., Monget, C., Farys, V., Berard-Bergery, S., Perraud, L., Navarro, C., Nicolet, C., Hadziioannou, G., Fleury, G.
المساهمون: Resnick, Douglas J., Bencher, Christopher
المصدر: Alternative Lithographic Technologies VII ; SPIE Proceedings ; ISSN 0277-786X
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2085819
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14Conference
المؤلفون: Pimenta Barros, P., Gharbi, A., Sarrazin, A., Tiron, R., Posseme, N., Barnola, S., Bos, S., Tallaron, C., Claveau, G., Chevalier, X., Argoud, M., Servin, I., Navarro, C., Nicolet, C., Lapeyre, C., Monget, C.
المساهمون: Lin, Qinghuang, Engelmann, Sebastian U., Zhang, Ying
المصدر: SPIE Proceedings ; Advanced Etch Technology for Nanopatterning IV ; ISSN 0277-786X
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2086810
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15Conference
المؤلفون: Deleonibus, S., Faynot, O., Ernst, T., Vinet, M., Batude, P., Andrieu, F., Weber, O., Cooper, D., Bertin, F., Moriceau, H., DiCioccio, L., Signamarcheix, T., Sanquer, M., Jehl, X., Cueto, O., Fanet, H., Martin, F., Okuno, H., Nemouchi, F., Poupon, G., Lamy, Y., Gasparutto, D., Baillin, X., Duraffourg, L., Arcamone, J., Perniola, L., de Salvo, B., Vianello, E., Hutin, L., Poulain, C., Beigne, E., Tiron, R., Pain, L., Tedesco, S., Barnola, S., Posseme, N., Le Royer, C., Villalon, A., Salot, R.
المصدر: 2014 IEEE International Electron Devices Meeting ; page 9.2.1-9.2.4
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16Conference
المؤلفون: Ros, O., Gouraud, P., Fouchier, M., E, Pargon, Barnola, S.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics Crolles (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: 36th Proceedings of International Symposium on Dry Process (DPS)
https://hal.science/hal-01798092
36th Proceedings of International Symposium on Dry Process (DPS), Nov 2014, Yokohama, Japanمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
Relation: hal-01798092; https://hal.science/hal-01798092
الاتاحة: https://hal.science/hal-01798092
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17Conference
المؤلفون: Chanson, C., Pargon, E., Darnon, M., Etienne, C. Petit, Foucher, M., Glueck, B., Brianceau, P., Barnola, S.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 7th International Workshop ; https://hal.science/hal-01798099 ; Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 7th International Workshop, May 2014, grenoble, France
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
الاتاحة: https://hal.science/hal-01798099
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18Conference
المؤلفون: Fouchier, M., Pargon, E., Ben Bakir, B., Brianceau, P., Harduin, J., Barnola, S., Grosse, P.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: 61st International AVS Symposium & Topical Conferences
https://hal.science/hal-01798215
61st International AVS Symposium & Topical Conferences, Nov 2014, Baltimore, USA, United Statesمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
جغرافية الموضوع: Baltimore, USA, United States
الاتاحة: https://hal.science/hal-01798215
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19Conference
المؤلفون: Dupuy, E., Fouchier, M., Pargon, E., Grampeix, H., Pimenta-Barros, P., Barnola, S., Joubert, O.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: 61st International AVS Symposium & Topical Conferences
https://hal.science/hal-01798204
61st International AVS Symposium & Topical Conferences, Nov 2014, Baltimore, United Statesمصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
جغرافية الموضوع: Baltimore, United States
الاتاحة: https://hal.science/hal-01798204
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20Conference
المؤلفون: Dupuy, E., Fouchier, M., Pargon, E., J., Pradelles, Grampeix, H., Pimenta-Barros, P., Barnola, S., Joubert, O.
المساهمون: Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM 2014), 7th International Workshop ; https://hal.science/hal-01798132 ; Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM 2014), 7th International Workshop, May 2014, Grenoble, France
مصطلحات موضوعية: [PHYS]Physics [physics]
الاتاحة: https://hal.science/hal-01798132