-
1Report
-
2Academic Journal
المؤلفون: Beckers, J., van de Ven, T. H. M., Banine, V. Y.
المساهمون: ASML
المصدر: Applied Physics Letters ; volume 115, issue 18 ; ISSN 0003-6951 1077-3118
-
3Academic Journal
المؤلفون: van de Ven, T.H.M., de Meijere, C.A., van der Horst, R.M., van Kampen, M., Banine, V. Y., Beckers, J.
المصدر: van de Ven , T H M , de Meijere , C A , van der Horst , R M , van Kampen , M , Banine , V Y & Beckers , J 2018 , ' Analysis of retarding field energy analyzer transmission by simulation of ion trajectories ' , Review of Scientific Instruments , vol. 89 , no. 4 , 043501 . https://doi.org/10.1063/1.5018269
وصف الملف: application/pdf
-
4Academic Journal
المؤلفون: van der Horst, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A., Banine, V. Y.
المصدر: van der Horst , R M , Beckers , J , Osorio , E A & Banine , V Y 2015 , ' Dynamics of the spatial electron density distribution of EUV-induced plasmas ' , Journal of Physics D: Applied Physics , vol. 48 , no. 43 , 432001 . https://doi.org/10.1088/0022-3727/48/43/432001
مصطلحات موضوعية: electron density, MCRS, EUV, expansion
وصف الملف: application/pdf
-
5Academic Journal
المؤلفون: van Leuken, D. P. J., de Meijere, C. A., van der Horst, R., Banine, V. Y., Osorio, E. A., Beckers, J.
المصدر: Review of Scientific Instruments ; volume 92, issue 6 ; ISSN 0034-6748 1089-7623
-
6Academic Journal
المؤلفون: Platier, B, van de Wetering, F M J H, van Ninhuijs, M A W, Brussaard, G J H, Banine, V Y, Luiten, O J, Beckers, J
المصدر: Journal of Physics D: Applied Physics ; volume 53, issue 35, page 359401 ; ISSN 0022-3727 1361-6463
-
7Academic Journal
المؤلفون: Beckers, J., van de Ven, T. H. M., de Meijere, C. A., van der Horst, R. M., van Kampen, M., Banine, V. Y.
المساهمون: ASML
المصدر: Applied Physics Letters ; volume 114, issue 13 ; ISSN 0003-6951 1077-3118
-
8Academic Journal
المؤلفون: Beckers, J, van de Wetering, F M J H, Platier, B, van Ninhuijs, M A W, Brussaard, G J H, Banine, V Y, Luiten, O J
المساهمون: Stichting voor de Technische Wetenschappen
المصدر: Journal of Physics D: Applied Physics ; volume 52, issue 3, page 034004 ; ISSN 0022-3727 1361-6463
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aaeb17
http://stacks.iop.org/0022-3727/52/i=3/a=034004?key=crossref.41763bab7b2cce8b267d2107c79a8209
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6463/aaeb17/pdf
http://stacks.iop.org/0022-3727/52/i=3/a=034004/pdf
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6463/aaeb17 -
9Academic Journal
المؤلفون: van de Ven, T. H. M., Reefman, P., de Meijere, C. A., van der Horst, R. M., van Kampen, M., Banine, V. Y., Beckers, J.
المساهمون: ASML
المصدر: Journal of Applied Physics ; volume 123, issue 6 ; ISSN 0021-8979 1089-7550
-
10Academic JournalExploring the electron density in plasma induced by EUV radiation: I. Experimental study in hydrogen
المؤلفون: van der Horst, R M, Beckers, J, Osorio, E A, Astakhov, D I, Goedheer, W J, Lee, C J, Ivanov, V V, Krivtsum, V M, Koshelev, K N, Lopaev, D V, Bijkerk, F, Banine, V Y
المساهمون: ASML
المصدر: Journal of Physics D: Applied Physics ; volume 49, issue 14, page 145203 ; ISSN 0022-3727 1361-6463
-
11Academic Journal
المؤلفون: Beckers, J, van der Horst, R M, Osorio, E A, Kroesen, G M W, Banine, V Y
المساهمون: ASML
المصدر: Plasma Sources Science and Technology ; volume 25, issue 3, page 035010 ; ISSN 0963-0252 1361-6595
-
12Academic Journal
المؤلفون: Beckers, J., van de Ven, T. H. M., de Meijere, C. A., van der Horst, R. M., van Kampen, M., Banine, V. Y.
المصدر: Applied Physics Letters; Apr2019, Vol. 114 Issue 13, pN.PAG-N.PAG, 5p, 1 Diagram, 2 Graphs
مصطلحات موضوعية: SPECTRAL energy distribution, LITHOGRAPHY, HIGH-density plasmas, PHOTOIONIZATION, MOLECULAR gas lasers
-
13Academic Journal
المؤلفون: van der Horst, R M, Beckers, J, Osorio, E A, van de Ven, T H M, Banine, V Y
المساهمون: ASML
المصدر: Plasma Sources Science and Technology ; volume 24, issue 6, page 065016 ; ISSN 0963-0252 1361-6595
-
14Academic Journal
المؤلفون: van der Horst, R M, Osorio, E A, Banine, V Y, Beckers, J
المساهمون: ASML
المصدر: Plasma Sources Science and Technology ; volume 25, issue 1, page 015012 ; ISSN 0963-0252 1361-6595
-
15Conference
المساهمون: Mackay, R. Scott
المصدر: SPIE Proceedings ; Emerging Lithographic Technologies IX ; ISSN 0277-786X
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.619568
-
16Academic Journal
المؤلفون: Platier, B, Wetering, F M J H van de, Ninhuijs, M A W van, Brussaard, G J H, Banine, V Y, Luiten, O J, Beckers, J
المصدر: Journal of Physics D: Applied Physics; 8/26/2020, Vol. 53 Issue 35, p1-3, 3p
مصطلحات موضوعية: CAVITY resonators, TRANSIENTS (Dynamics), PHOTON counting, IONIZING radiation, ELECTRONS, MICROWAVE plasmas, FREE electron lasers, LASER plasmas
-
17
المؤلفون: Ruud van der Horst, Job Beckers, Sander Nijdam, Osorio, E. A., Banine, V. Y., Kroesen, G. M. W.
المساهمون: Elementary Processes in Gas Discharges, Extreme non-equilibrium plasmas, Complex Ionized Media
المصدر: Presentation at the CP3E, 27-5-2014, Veldhoven, The Netherlands
Pure TUe -
18Academic Journal
المؤلفون: van de Ven, T. H. M., de Meijere, C. A., van der Horst, R. M., van Kampen, M., Banine, V. Y., Beckers, J.
المصدر: Review of Scientific Instruments; 2018, Vol. 89 Issue 10, pN.PAG-N.PAG, 11p, 2 Color Photographs, 7 Diagrams, 2 Charts, 8 Graphs
مصطلحات موضوعية: ION beams, HELIUM ions, MONTE Carlo method, COMPUTER simulation, ELECTRIC fields
-
19Academic Journal
المؤلفون: Banine, V Y, Koshelev, K N, Swinkels, G H P M
المصدر: Journal of Physics D: Applied Physics ; volume 44, issue 25, page 253001 ; ISSN 0022-3727 1361-6463
-
20Book
المؤلفون: Banine, V. Y.
المصدر: Future Trends in Microelectronics (9781118678107); 2013, p120-132, 13p