المؤلفون: Achkar, Hikmat

مصطلحات موضوعية: [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, [SPI:NANO] Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique, MEMS RF, Actionnement piézo-électrique, Plateforme de simulation multi-physique

الاتاحة: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00462560
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/46/25/60/PDF/Manuscript_These_Achkar_Hikmat_final.pdf