يعرض 1 - 14 نتائج من 14 نتيجة بحث عن '"田尻 修一"', وقت الاستعلام: 0.37s تنقيح النتائج
  1. 1
    Academic Journal
    Deposition of Ni thin film on polyimide film (2) / ポリイミドフィルム基板上へのNi薄膜の形成(2)

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Shuichi Tajiri, Soichi Ogawa, Takanori Onishi, Yukiko Okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Abstract book of Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science. 2019, :1

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  2. 2
    Academic Journal
    Deposition of Ni thin film on polyimide film(1) / ポリイミドフィルム基板上へのNi薄膜の形成(1)

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Shuichi Tajiri, Soichi Ogawa, Takanori Onishi, Yukiko Okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2018, :157


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  3. 3
    Academic Journal
    Pressure distribution and dynamic pressure measurement of sputtering system / スパッタリングシステム内における圧力分布、および圧力変化の実測

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Shuichi Tajiri, Soichi Ogawa, Takanori Onishi, Yukiko Okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2016, :172

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  4. 4
    Academic Journal
    Measurement of Steady State Pressure Distribution and Dynamic Pressure Fluctuations During Sputtering Process / スパッタリングプロセスにおける静的圧力分布，および動的圧力変化の実測

    المؤلفون: Hiroshi MIMA, Shuichi TAJIRI, Soichi OGAWA, Takanori ONISHI, Yukiko OKANO, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Journal of the Vacuum Society of Japan. 2017, 60(6):220

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  5. 5
    Academic Journal
    Deposition of TaAl-N Thin Film with Ta-Al Composite Target by Reactive Sputtering(2) / Ta-Al複合ターゲットを用いた反応性スパッタ法による窒化物薄膜の形成(2)

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Shuichi Tajiri, Soichi Ogawa, Takanori Onishi, Yukiko Okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2017, :87


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  6. 6
    Academic Journal
    TaAl-N薄膜を用いた熱伝導型水素センサの開発 / Thermal conductivity hydrogen gas sensor with TaAl-N thin films

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Soichi Ogawa, Syuichi Tajiri, Takanori Onishi, Yukiko Okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2016, :136


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  7. 7
    Academic Journal
    Pressure measurements with micro thin film sensor during sputtering process(2) / マイクロハクマク圧力センサによるスパッタリングプロセスにおける圧力計測(Ⅱ)

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Shuichi Tajiri, Soichi Ogawa, Takanori Onishi, Toshikazu Okada, Yukiko Okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡田 俊一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2016, :137


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  8. 8
    Academic Journal
    Pressure measurements with micro thin film sensor during sputtering process / マイクロハクマク圧力センサによるスパッタリングプロセスにおける圧力計測

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Souiti Ogawa, Syuiti Tajiri, Takanori Onishi, Tosikazu Okada, yukiko okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡田 俊一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2015, :110


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  9. 9
    Academic Journal
    Pressure measurements of roll-to-roll sputtering system with micro thin film sensor / マイクロハクマク圧力センサを用いたロールtoロールスパッタ装置内の圧力分布計測の試み

    المؤلفون: Hiroshi Mima, Shuichi Tajiri, Soichi Ogawa, Takanori Onishi, Toshikazu Okada, Yukiko Okano, 大西 孝則, 小川 倉一, 岡田 俊一, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司

    المصدر: Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2015, :109


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  10. 10
    Academic Journal
    Deposition of TaAl-N Thin Film with Ta-Al Composite Target by Reactive Sputtering / Ta-Al 複合ターゲットを用いた反応性スパッタ法による窒化物薄膜の形成

    المؤلفون: Akio OKAMOTO, Hiroshi MIMA, Shuichi TAJIRI, Soichi OGAWA, Takashi AOZONO, Yukiko OKANO, 小川 倉一, 岡本 昭夫, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司, 青園 隆司

    المصدر: Journal of the Vacuum Society of Japan. 2009, 52(9):524

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  11. 11
    Academic Journal
    TaAl-N Thin Film Prepared by Radio Frequency and Direct Current Reactive Sputtering / 高周波電力を重畳した直流反応性スパッタ法による TaAl-N 薄膜の作製

    المؤلفون: Akio OKAMOTO, Hiroshi MIMA, Shuichi TAJIRI, Soichi OGAWA, Takashi AOZONO, Yukiko OKANO, 小川 倉一, 岡本 昭夫, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司, 青園 隆司

    المصدر: Journal of the Vacuum Society of Japan. 2008, 51(3):208

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  12. 12
    Academic Journal
    Fabrication of High TCR TaAl-N Thin Film by Reactive Sputtering Method / 反応性スパッタ法により作製した TaAl-N 薄膜の抵抗温度係数の窒素分圧依存性

    المؤلفون: Akio OKAMOTO, Hiroshi MIMA, Shuichi TAJIRI, Soichi OGAWA, Takashi AOZONO, Yukiko OKANO, 小川 倉一, 岡本 昭夫, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司, 青園 隆司

    المصدر: 真空 / Shinku. 2007, 50(3):173

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  13. 13
    Academic Journal
    Deposition of TaAl-N Thin Film on the Polyimide Film —Discussion for the New Vacuum Sensor in a Wide Range— / ポリイミドフィルムへの TaAl-N 薄膜の形成 ～広領域真空センサ応用への可能性の検討～

    المؤلفون: Akio OKAMOTO, Hiroshi MIMA, Shuichi TAJIRI, Soichi OGAWA, Takashi AOZONO, Yukiko OKANO, 小川 倉一, 岡本 昭夫, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司, 青園 隆司

    المصدر: 真空 / Shinku. 2006, 49(3):162

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  14. 14
    Academic Journal
    Nitride thin films prepared by reactive sputtering method using N-MHV sputtering system. / Ｎ－MHVスパッタ装置により作製した窒化物薄膜

    المؤلفون: Akio Okamoto, Hiroshi Mima, Shuichi Tajiri, Soichi Ogawa, Takashi Aozono, Yukiko Okano, 小川 倉一, 岡本 昭夫, 岡野 夕紀子, 田尻 修一, 美馬 宏司, 青園 隆司

    المصدر: Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2010, :130


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