-
1Academic JournalВластивості плівок ZnO, одержаних на мезопоруватих підкладинках Si методою магнетронного напорошення
المؤلفون: Кідалов, В. В., Дяденчук, Альона Федорівна, Дяденчук, Алена Федоровна, Diadenchuk, Alona, Бачеріков, Ю. Ю., Жук, А. Г., Батурин, В. А., Рогозін, І. В., Карпенко, О. Ю.
مصطلحات موضوعية: плівки ZnO, поруваті підкладинки Si, метод реактивного магнетронного ВЧ-розпорошення, ZnO film, porous substrate Si, method of reactive magnetron RF sputtering, плёнки ZnO, пористые подложки Si, метод реактивного магнетронного ВЧ-распыления
وصف الملف: application/pdf
Relation: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології;Т. 17, № 1 (С. 111–122); http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10766