-
1Report
المؤلفون: Маджара, Никита Евгеньевич
المساهمون: Сиделёв, Дмитрий Владимирович
مصطلحات موضوعية: ионное распыление, коэффициент распыления, угол падения ионов, ток ионов, медный сплав М1, ion sputtering, spray coefficient, ion incidence angle, ion current, copper alloy M1, 14.03.02, 621.793.7.032.266:620.19
وصف الملف: application/pdf
Relation: Маджара Н. Е. Влияние угла падения ионного пучка на распыление металлических мишеней : бакалаврская работа / Н. Е. Маджара; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение ядерно-топливного цикла (ОЯТЦ); науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2023.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75843
-
2Academic Journal
المؤلفون: J. E. Okojie, D. A. Golosov
المصدر: Doklady Belorusskogo gosudarstvennogo universiteta informatiki i radioèlektroniki, Vol 0, Iss 4, Pp 87-93 (2019)
مصطلحات موضوعية: высокочастное магнетронное распыление, сегнетоэлектрики, скорость нанесения, коэффициент распыления, Electronics, TK7800-8360
وصف الملف: electronic resource
-
3Report
المؤلفون: Куминов, Павел Олегович
المساهمون: Гончаренко, Игорь Михайлович
مصطلحات موضوعية: газовый разряд, вакуум, ионная бомбардировка, коэффициент распыления, плотность тока ионов, температура, морфология поверхности, gas discharge, vacuum, ion bombardment, spray coefficient, ion current density, temperature, surface morphology, 15.04.01, 537.57:533.9:620.22-408
وصف الملف: application/pdf
Relation: Куминов П. О. Особенности эрозии поверхности материалов при взаимодействии с ионами газоразрядной плазмы : магистерская диссертация / П. О. Куминов; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа новых производственных технологий (ИШНПТ), Отделение материаловедения (ОМ); науч. рук. И. М. Гончаренко. — Томск, 2018.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/47699
-
4Report
المؤلفون: Шурен, Жазира Бакытбеккызы
المساهمون: Евдокимов, Кирилл Евгеньевич
مصطلحات موضوعية: тонкие плёнки, оксиды и нитриды титана, реактивное магнетронное напыление, ионная имплантация, коэффициент распыления, thin films, titanium oxide and nitride, reactive magnetron sputtering, ion implantation, sputtering yield, 16.04.01, 539.216.2:621.793.7:669.295.065
وصف الملف: application/pdf
Relation: Шурен Ж. Б. Исследование процессов распыления и ионной имплантации при осаждении тонких плёнок оксидов и нитридов титана методом реактивного магнетронного напыления : магистерская диссертация / Ж. Б. Шурен; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ); науч. рук. К. Е. Евдокимов. — Томск, 2017.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39642
-
5Academic Journal
المؤلفون: Коряжкина, М., Горшков, О., Павлов, Д., Антонов, И., Касаткин, А., Малехонова, Н., Шенина, М.
وصف الملف: text/html
-
6Academic Journal
مصطلحات موضوعية: КОСМИЧЕСКИЙ АППАРАТ, КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ, СТАЦИОНАРНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ДВИГАТЕЛЬ, МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ
وصف الملف: text/html
-
7Academic Journal
المؤلفون: Поплавский, А. И., Колпаков, А. Я, Галкина, М. Е., Суджанская, И. В., Гончаров, И. Ю., Бондарева, Е. Н.
مصطلحات موضوعية: физика, физика твердого тела, кремний, ионы, коэффициент распыления, электропроводность, микротвердость, трещиностойкость, шероховатость поверхности
Relation: Влияние низкоэнергетичной ионной бомбардировки аргоном и азотом на свойства кремния / А. И. Поплавский [и др.]; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2012. - №23(142), вып.29.-С. 177-183.; http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/54635
-
8Academic Journal
المؤلفون: Чичерская, А. Л., Пупышев, А. А., Chicherskaya, A. L., Pupyshev, A. A.
مصطلحات موضوعية: ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY, CURRENT DIRECT GLOW DISCHARGE, THE SPUTTERING RATE OF METALS, PHYSICAL-CHEMICAL PROPERTIES OF METALS, THEORY SPRAYING SOLIDS, SPUTTERING COEFFICIENT, АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД ПОСТОЯННОГО ТОКА, СКОРОСТЬ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ, ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭЛЕМЕНТОВ, ТЕОРИЯ РАСПЫЛЕНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ
وصف الملف: application/pdf
Relation: Аналитика и контроль. 2015. № 3; Чичерская А. Л. Скорость распыления металлов в тлеющем разряде постоянного тока, используемом в атомно-эмиссионной спектрометрии / А. Л. Чичерская, А. А. Пупышев // Аналитика и контроль. — 2015. — № 3. — С. 230-241.; 2073-1442 (Print); 2073-1450 (Online); http://elar.urfu.ru/handle/10995/50300
-
9
المؤلفون: Chicherskaya, A. L., Pupyshev, A. A.
مصطلحات موضوعية: ТЕОРИЯ РАСПЫЛЕНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ, THEORY SPRAYING SOLIDS, CURRENT DIRECT GLOW DISCHARGE, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ, THE SPUTTERING RATE OF METALS, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД ПОСТОЯННОГО ТОКА, PHYSICAL-CHEMICAL PROPERTIES OF METALS, SPUTTERING COEFFICIENT, ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭЛЕМЕНТОВ, СКОРОСТЬ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ, АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ, ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY
وصف الملف: application/pdf
-
10
المصدر: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева.
مصطلحات موضوعية: КОСМИЧЕСКИЙ АППАРАТ, КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ, СТАЦИОНАРНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ДВИГАТЕЛЬ, МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ
وصف الملف: text/html
-
11
المؤلفون: Окоджи, Д. Э., Голосов, Д. А.
مصطلحات موضوعية: доклады БГУИР, высокочастное магнетронное распыление, сегнетоэлектрики, скорость нанесения, коэффициент распыления, high-frequency magnetron sputtering, ferroelectric, deposition rate, sputtering yield
وصف الملف: application/pdf
Relation: Окоджи, Д. Э. Особенности нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков при высокочастотном магнетроном распылении / Д. Э. Окоджи, Д. А. Голосов // Доклады БГУИР. - 2018. - № 4 (114). - С. 87 - 93.; https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32574
-
12Electronic Resource
المؤلفون: Чичерская, А. Л., Пупышев, А. А., Chicherskaya, A. L., Pupyshev, A. A.
مصطلحات الفهرس: ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY, CURRENT DIRECT GLOW DISCHARGE, THE SPUTTERING RATE OF METALS, PHYSICAL-CHEMICAL PROPERTIES OF METALS, THEORY SPRAYING SOLIDS, SPUTTERING COEFFICIENT, АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД ПОСТОЯННОГО ТОКА, СКОРОСТЬ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ, ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭЛЕМЕНТОВ, ТЕОРИЯ РАСПЫЛЕНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ, КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ, Article, info:eu-repo/semantics/article, info:eu-repo/semantics/publishedVersion
URL:
http://hdl.handle.net/10995/50300
Аналитика и контроль. 2015. № 3 -
13Electronic Resource