المؤلفون: Корольков Виктор Павлович, Конченко Александр Сергеевич, Черкашин Вадим Владимирович, Миронников Николай Геннадиевич

مصطلحات موضوعية: зеркальная спектроскопическая рефлектометрия, безмасочная фотолитография, конформальные корректоры, измерение толщины тонких пленок, профилометрия

وصف الملف: text/html

الاتاحة: http://cyberleninka.ru/article/n/razrabotka-metodov-formirovaniya-i-kontrolya-zadannogo-raspredeleniya-tolschiny-fotorezista-pri-izgotovlenii-konformalnyh
http://cyberleninka.ru/article_covers/16880580.png

المؤلفون: Полещук, Александр, Насыров, Руслан, Маточкин, Алексей, Хомутов, Владимир, Черкашин, Вадим, Качкин, Антон, Верхогляд, Александр, Касторский, Леонид, Михалкин, Владимир

مصطلحات موضوعية: МИЛЛИМЕТРОН, КОСМИЧЕСКАЯ ОБСЕРВАТОРИЯ, ИНТЕРФЕРОМЕТР, СИНТЕЗИРОВАННАЯ ГОЛОГРАММА, КОНТРОЛЬ АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

وصف الملف: text/html

الاتاحة: http://cyberleninka.ru/article/n/razrabotka-interferentsionno-golograficheskoy-ik-sistemy-kontrolya-formy-tsentralnogo-parabolicheskogo-zerkala-kosmicheskogo
http://cyberleninka.ru/article_covers/15816957.png

المؤلفون: Шиманский, Руслан, Полещук, Александр, Корольков, Виктор, Черкашин, Вадим

مصطلحات موضوعية: ЛАЗЕРНАЯ ЗАПИСЫВАЮЩАЯ СИСТЕМА, ПОГРЕШНОСТЬ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ, ДИФРАКЦИОННЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ

وصف الملف: text/html

الاتاحة: http://cyberleninka.ru/article/n/metody-uvelicheniya-tochnosti-nanopozitsionirovaniya-v-sistemah-sinteza-difraktsionnoy-optiki
http://cyberleninka.ru/article_covers/15816960.png

المؤلفون: Корольков, Виктор, Конченко, Александр, Черкашин, Вадим, Миронников, Николай

مصطلحات موضوعية: ИЗМЕРЕНИЕ ГЛУБИНЫ МИКРОРЕЛЬЕФА, БИНАРНЫЕ ФАЗОВЫЕ СИНТЕЗИРОВАННЫЕ ГОЛОГРАММЫ, ВОЛОКОННЫЙ СПЕКТРОМЕТР, ДИФРАКЦИОННАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ В НУЛЕВОМ ПОРЯДКЕ

وصف الملف: text/html

الاتاحة: http://cyberleninka.ru/article/n/pribor-dlya-avtomatizirovannogo-izmereniya-karty-glubiny-reliefa-binarnyh-sintezirovannyh-gologramm-1
http://cyberleninka.ru/article_covers/15210208.png

المؤلفون: Полещук, Александр, Насыров, Руслан, Маточкин, Алексей, Черкашин, Вадим, Хомутов, Владимир

مصطلحات موضوعية: КОНТРОЛЬ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТЫ, СИНТЕЗИРОВАННЫЕ ГОЛОГРАММЫ

وصف الملف: text/html

الاتاحة: http://cyberleninka.ru/article/n/lazernyy-interferometr-fti-100
http://cyberleninka.ru/article_covers/15225156.png

المؤلفون: Полещук, Александр, Хомутов, Владимир, Черкашин, Вадим

مصطلحات موضوعية: ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ДОЭ, КОМПЬЮТЕРНАЯ ОПТИКА, СИНТЕЗИРОВАННЫЕ ГОЛОГРАММЫ, ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА, ОБРАБОТКА ИЗОБРАЖЕНИЯ

وصف الملف: text/html

الاتاحة: http://cyberleninka.ru/article/n/izmerenie-difraktsionnoy-effektivnosti-doe-po-mnogim-poryadkam-difraktsii
http://cyberleninka.ru/article_covers/15133072.png

المؤلفون: Коронкевич, Вольдемар, Корольков, Виктор, Полещук, Александр, Харисов, Андрей, Черкашин, Вадим

وصف الملف: text/html

الاتاحة: http://cyberleninka.ru/article/n/tochnost-izgotovleniya-difraktsionnyh-opticheskih-elementov-lazernymi-zapisyvayuschimi-sistemami-s-krugovym-skanirovaniem
http://cyberleninka.ru/article_covers/15277232.png