-
1Report
المؤلفون: Якубовская, С. В., Бабаскина, С. Ю., Корбит, А. А., Олехнович, О. Н.
جغرافية الموضوع: Минск
Relation: Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении : материалы международной научно-практической конференции; Минск, 11 апреля 2012 года. - Минск : Бизнесофсет, 2012. – С. 181-182.; Влияние технологических параметров процесса алмазной механической обработки (полирования) кремниевых пластин (О 100 мм) на производительность процесса и качество пластин / С. В. Якубовская [и др.] // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении : материалы международной научно-практической конференции; Минск, 11 апреля 2012 года. - Минск : Бизнесофсет, 2012. – С. 181-182.; https://openrepository.ru/article?id=67687
-
2Patent
Relation: Алмазная паста для полирования полупроводниковых материалов : пат. 16495 Респ. Беларусь : МПК(2006.01) C09G1/02 / С. В. Якубовская [и др.]; заявитель Белорусский национальный технический университет; дата публ.: 2012.10.30.; 16495; https://openrepository.ru/article?id=96163
-
3Electronic Resource
المؤلفون: Якубовская, С. В., Бабаскина, С. Ю., Корбит, А. А., Олехнович, О. Н.
مصطلحات الفهرس: Научный доклад (Working Paper)
URL:
http://hdl.handle.net/rour/67687uri
Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении : материалы международной научно-практической конференции; Минск, 11 апреля 2012 года. - Минск : Бизнесофсет, 2012. – С. 181-182. -
4Electronic Resource
Additional Titles: Пат. 16495 Респ. Беларусь
مصطلحات الفهرس: Патент (Patent)