مصطلحات موضوعية: Ð¿Ð»Ð°Ð·Ð¼Ð¾Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ðµ травление, optical emission spectroscopy, карбид кремния, plasma-chemical etching, silicon carbide, оптическая-эмиссионная спектроскопия, computer simulation, компьютерное моделирование, мембрана, membrane, глубокое травление, deep etching

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::07d44e3897e310be744696d69efb847d

مصطلحات موضوعية: силикатное стекло, карбид кремния, Спектроскопия комбинационного рассеяния света, Кремний, карбиды, кремний, углерод, спектроскопия комбинационного рассеяния, электронное облучение

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a3792df33778eb41bc0943462aebf003

مصطلحات موضوعية: молекула, molecule, фуллерены, carbon films, fullerenes, silicon, компьютерное моделирование, modeling, voronoi-dirichlet method, метод вороного-Ð´Ð¸Ñ€Ð¸Ñ Ð»Ðµ, molecular dynamics, молекулярная динамика, карбид кремния, silicon carbide, кремний, углеродные плёнки, LAMMPS

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bab53d3d8889787ec54559f44ea7c8cd

مصطلحات موضوعية: силикатное стекло, electron irradiation, carbon, углерод, электронное облучение, модификация материала, local crystallization, карбид кремния, raman spectroscopy, спектроскопия комбинационного рассеяния света, silicon carbide, локальная кристаллизация, material modification, silicate glass

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::94baa01b43579bff60c6b5a08a56d103

مصطلحات موضوعية: computational modeling, карбид кремния, квазитермодинамическая модель, silicon carbide, quasithermodynamic model, эпитаксия, Fluent, epitaxy, hot-wall CVD reactor, doping, численное моделирование, легирование

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1b860e3ee50487df693715f35aebbffd

مصطلحات موضوعية: карбид кремния, W-band, электронный парамагнитный резонанс, wide band semiconductor, silicon carbide, X-band, electronic paramagnetic resonance, широкозонный полупроводник, X-диапазон, W-диапазон

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7793e774d54e9dcc915c0c38b28af512