المؤلفون: L. Schwab, P. E. Allain, N. Mauran, X. Dollat, L. Mazenq, D. Lagrange, M. Gély, S. Hentz, G. Jourdan, I. Favero, B. Legrand

المصدر: Microsystems & Nanoengineering, Vol 8, Iss 1, Pp 1-14 (2022)

مصطلحات موضوعية: Technology, Engineering (General). Civil engineering (General), TA1-2040

وصف الملف: electronic resource

Relation: https://doaj.org/toc/2055-7434

URL الوصول: https://doaj.org/article/be26b9d481b84e2ba0dd6fd34846fdde

المؤلفون: L Schwab (14406972), P Allain (14406975), N Mauran (14406978), X Dollat (14406981), L Mazenq (14406984), D Lagrange (14406987), M Gély (14406990), S Hentz (14406993), G Jourdan (14406996), I Favero (14406999)

مصطلحات موضوعية: Physics (arXiv), physics.ins-det (arXiv), physics.optics (arXiv)

Relation: https://figshare.com/articles/preprint/Very_high_frequency_probes_for_atomic_force_microscopy_with_silicon_optomechanics/21880815

الاتاحة: https://doi.org/10.48550/arxiv.2109.02478

المؤلفون: A. Lale, A. Grappin, A. Lecestre, L. Mazenq, J. Launay, Pierre Temple-Boyer

المصدر: Thin Solid Films. 764:139609

مصطلحات موضوعية: Materials Chemistry, Metals and Alloys, Surfaces and Interfaces, Surfaces, Coatings and Films, Electronic, Optical and Magnetic Materials

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::42f93ed99cc6e9c82335ca4ce9cbe620
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139609

المؤلفون: L. Schwab, P. E. Allain, N. Mauran, X. Dollat, L. Mazenq, D. Lagrange, M. Gély, S. Hentz, G. Jourdan, I. Favero, B. Legrand

المساهمون: Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques (MPQ (UMR_7162)), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Paris (UP), Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), ANR-14-CE26-0019,OLYMPIA,Sondes opto-mécaniques pour la microscopie AFM rapide(2014), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris Cité (UPCité), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris Cité (UPC)

المصدر: Microsystems & Nanoengineering
Microsystems & Nanoengineering, 2022, 8, pp.32. ⟨10.1038/s41378-022-00364-4⟩

مصطلحات موضوعية: [PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS]Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics], Physics - Instrumentation and Detectors, Materials Science (miscellaneous), [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic, FOS: Physical sciences, Instrumentation and Detectors (physics.ins-det), Electrical and Electronic Engineering, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, Condensed Matter Physics, Industrial and Manufacturing Engineering, Atomic and Molecular Physics, and Optics, Optics (physics.optics), Physics - Optics

URL الوصول: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::bbda7d75757b3e46a2801f7bb290a1a5
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03326075/document

المؤلفون: D Dezest, O Thomas, F Mathieu, L Mazenq, C Soyer, J Costecalde, D Remiens, J F Deü, L Nicu

المصدر: Journal of Micromechanics & Microengineering; Mar2015, Vol. 25 Issue 3, p1-1, 1p

مصطلحات موضوعية: NANOELECTROMECHANICAL systems, LEAD zirconate titanate, WAFER-scale integration of circuits, FINITE element method, PIEZOELECTRIC actuators